欢迎来到 阿仪网

免费注册

首页 | 产品 | 求购 | 资讯 | 专题 | 找厂商 | 打听 | 人才 | 品牌 | 资料 | 技术文献 | 展会 | 耗材 | 配件 | 新品 | 促销 | 书籍 | 招标 | 优质必威体育手机版投注

您的位置:首页>公司动态>赛默飞世尔科技(中国)必威体育app手机版>监控半导体芯片生产中离子污染的神器——ICS 6000离子色谱

监控半导体芯片生产中离子污染的神器——ICS 6000离子色谱

2020/10/14提供者: 赛默飞世尔科技(中国)必威体育app手机版 人气指数:1169 进入该公司展台

 

监控半导体芯片生产中离子污染的神器——ICS 6000离子色谱

                                                      关注我们,更多干货惊喜好礼

 

 

 

2020 · 半导体产业

2020年注定是不平凡的一年,不仅仅是新冠的肆虐,也因为国内外贸易争端加剧,对某些中国企业是一大挑战,同时也是一大机遇,将刺激我国对于芯片等半导体产业的重视,同时赛默飞也将致力于帮助客户解决当中遇到的问题。

 

集成电路(Intergrated Circuit)又称芯片,是一种微型电子器件,是把电路(包括半导体装置、元件)小型化、并制造在半导体晶圆表面上形成的具有所需电路功能的微型结构。

 

 在半导体行业中对离子的污染非常敏感

超过80%的制作工序都需要用到纯水,对于不同级别的生产线而言,对纯水的质量要求也不尽相同,限度跨度从ppt—ppb。

 

 

 

 

ASTM D5127-13 Standard Guide for Ultra-Pure Water Used in the Electronics and Semiconductor Industries

 

同时芯片的生产过程中会使用到很多试剂,如硫酸、氨水等,而这些试剂挥发到空气中会对芯片造成晶体缺陷、雾状缺陷等,因此:

 

监控环境空气和超纯水中离子的含量是非常必要的

 

你知道吗

那么大家知道,空气中与超纯水中的杂质离子含量这么低,通过什么手段实现检测呢?赛默飞离子色谱ICS-6000选配AM模块通过大体积浓缩进样,可轻松实现如上要求,完全可以达到芯片生产过程中对环境与水的控制。

 

ICS 6000双系统,直接进样分析,可同时在线检测超纯水中痕量(>50ppt)阴阳离子。

 

ICS 6000双系统

 

直接进样流路图

1配置AS-HV以后的ICS 6000

可实现大体积浓缩进样,从而进一步提高灵敏度降低检出限(<20ppt),通过大定量环进样品,小定量环进标准品,也大大降低了痕量分析的操作门槛。

 

 

 

ICS 6000配备AS-HV

 

 

 大小环进样流路图

 2可选配IC Pure在线纯水机

在线制备离子色谱分析过程中所需超纯水,从而给淋洗液提供更纯的水源。

 

 

 

 

 IC Pure在线纯水机

 

 

3配备空气采样器

由真空泵以恒定流速抽取环境空气,超纯水吸收空气中阴阳离子后上离子色谱检测。根据抽取时间与流速从而计算抽取空气体积,得出空气中离子含量。

 

 

 

 空气采样器

 

那么实际效果如何呢?请看如下两张谱图:

 

 常规阴离子谱图(1-10ppt)

 

 

常规阳离子谱图(20ppt)

赛默飞离子色谱全流程解决方案

ICS 6000高压离子色谱

ICS-6000高压离子色谱是一款可实现阴阳离子同时分析的高压离子色谱系统,高压梯度提供了高分离度与高重复性。同时配有赛默飞独有耐高压Viper管线,独特的力矩设计,无需辅助工具,手动自如实现装卸,简单方便。

 

 

 

耗材监控识别功能

自动识别并追踪 IC 耗材的安装时间、使用情况和性能指标。其可防止耗材安装错误,安排预防性维护时间,管理耗材使用情况,可同时监测多达 25 种不同耗材的 16 余项关键性能指标。从而可以根据产品性能指标和生产质量保证数据验证耗材的性能。

 

 

淋洗液自动发生器

ICS-6000 配备RFIC-EG(淋洗液自动发生器),淋洗液发生灌以指定的浓度电解生成高纯度氢氧化钾(KOH)或甲磺酸(MSA)淋洗液。该设备的淋洗液与再生液仅要求使用高纯度去离子水即可,从而实现零系统空白。同时RFIC-EG 模块可控制等度或梯度条件,提供无与伦比的方法重现性和准确度。

 

 

 

 

DC温控

ICS-6000温控系统分为上下两部分且可单独控温,上部分控制检测单元,下部分控制进样阀与色谱柱,温度全部覆盖,稳定性更佳。

 

 ICS 6000 DC模块

自 1975 年以来,我们一直致力于离子色谱(IC)技术的开发与创新,包括必威体育手机版投注、化学分离、抑制器和软件。作为业界领导者,我们通过分享已知信息努力为您的实验室提供支持,充当值得信赖的顾问,并提供您所需要的服务和支持。我们所做的一切支持并认可您和您的使命,确保世界更健康、更清洁、更安全。 

 

 

 Thermo Scientific™ Dionex™ ICS-6000 离子色谱仪

 

“码”上下载

填写表单即刻获取【赛默飞ICS-6000 HPIC 高压离子色谱系统】

 

 

 如需合作转载本文,请文末留言。

 

 

 

 扫描下方二维码即可获取赛默飞全行业解决方案,或关注“赛默飞色谱与质谱中国公众号,了解更多资讯+

 

 

微信号:ayiwangapp17

标签:半导体芯片  

投稿箱

如果您必威体育手机版投注行业、企业相关新闻稿件发表,或进行资讯合作,欢迎联系本网编辑部, 邮箱:1256925161@qq.com

为您推荐

广告
  • 江苏宏盛烟塔工程必威体育app手机版
  • 主营:80米砖烟囱新建,60米砖烟囱拆除,盐城砖烟囱刷航标,宏盛烟囱刷色环,烟囱安装避雷针,江苏烟囱防腐工程
  • 热线:13921808532
  • 上海诺渊实业必威体育app手机版
  • 主营:生物制药三维构象检测盒,赫赛汀三维构象检测盒,赛尼哌三维构象检测盒,美罗华三维构象检测盒,新型单抗三维构象检测盒,赫赛汀三维构象检测盒,阿瓦斯汀三维构象检测盒,蛋白A酶联反应试剂盒
  • 热线:13764476310
  • 专题报道

    迎中秋,庆国庆

  • 2020第八届上海国际生物发酵 产品与技术装备展览会
  • 广州国际分析测试及实验室设备展览会暨技术研讨会
  • 夏日促销
  • 端午热销
  • 人物访谈

    品牌是支撑企业发展的灵魂--访河南鑫科高经理

  • 产品质量乃立足之本--访优尼康生物赵经理
  • 江苏三丰:致力于工业自动化仪表的研发销售
  • 自主创新引领产业发展--访苏州纽迈张经理
  • 上海恒远获BIM中国总代 强强联手推动BIM在中国市场的快速发展 -附专访
  • 创新引领发展,科技赢得未来--访河南云飞科技周总
  • 新闻排行

    图片视点

    AI电力员工上岗 检测迎来智能时代
  • 世界粮食日及全国粮食安全宣传周 检测必威体育手机版投注仪表护“粮”安
  • 力学所在多晶材料内耗峰值的尺寸效应研究中取得进展
  • 合肥研究院在新型热电材料物理机制研究中获进展
  • 国家药监局:全国医疗器械编码正式开始
  • 中科院南海海洋所等发现新型毒素/抗毒素系统
  • 污染防治搭上5G快车 必威体育手机版投注仪表设备发展空间大
  • 研究人员发现具有治愈作用的细菌毒素
  • 瑞士日内瓦大学开发不易燃的固态电解质
  • 合肥研究院围绕近红外光谱分析技术提出变量选择算法
  • 金相显微镜在工业生产中发挥重要作用
  • 优质产品

  • X射线荧光光谱仪

    X射线荧光光谱仪型号:EDX3600K型¥:0—0

  • 超声波细胞粉碎机供应商

    超声波细胞粉碎机供应商型号:JYD-650L¥:0—0

  • 电脑多元素联测分析仪

    电脑多元素联测分析仪型号:JQ-8¥:0—0

  • 松下(三洋) 高压灭菌器

    松下(三洋) 高压灭菌器型号:MLS-3751L-PC¥:0—0

  • 蒸汽流量计 空气流量计

    蒸汽流量计 空气流量计型号:LUGB¥:0—0

  • 全自动煤岩分析仪

    全自动煤岩分析仪型号:MSS-2000型¥:0—0

  • 固体静态负离子浓度测试仪

    固体静态负离子浓度测试仪型号:IT-10¥:0—0

  • 工业冷水机

    工业冷水机型号:LS系列¥:0—0

  • 氰化氢检测仪生产厂家

    氰化氢检测仪生产厂家型号:EST-10-HCN¥:0—0

  • 有氧厌氧呼吸仪

    有氧厌氧呼吸仪型号:PF-8000¥:0—0

  • DN50-300大口径超声波热量表

    DN50-300大口径超声波热量表型号:DN50-300¥:0—0

  • 全自动多功能气体吸附仪

    全自动多功能气体吸附仪型号:ASAP 2020系列¥:0—0

  • 版权声明

    凡本网注明"来源:阿仪网"的所有作品,版权均属于阿仪网,未经本网授权不得转载、摘编或利 用其它方式使用。已获本网授 权的作品,应在授权范围内使用,并注明"来源:阿仪网"。违者本网将追究相关法律责任。

    本信息由注册会员:赛默飞世尔科技(中国)必威体育app手机版发布并且负责版权等法律责任。

    旗下频道

    色谱仪 光谱仪 反应釜 试验箱 试验机 搅拌器 培养箱 离心机 水分测定 气体检测 量热仪 石油必威体育手机版投注 纯水器 比表面仪 温度记录 流量计 万用表 显微镜 粒度仪 测厚仪 硬度计 酸度计 元素分析 生物试剂 电线电缆 天平衡器 传感器 食品检测 压力仪表 电化学 测厚仪 阀门仪表 电力仪表 干燥设备 药物检测